Instrumentação é para instrumentos de medição usados para indicar, medir e registrar grandezas físicas. A instrumentação inclui: Elipsômetros; microscópios eletrônicos de varredura, elétrons de transmissão, ópticos e eletrônicos de varredura ambiental; sistemas de feixe de íons focalizados; sistemas de deposição química e física de vapor.
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